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光刻膠用酚醛樹脂

Electronic Grade Phenolic Resin for Photoresist

結(jié)構(gòu)式

一、產(chǎn)品性能

光刻膠用酚醛樹脂是一種電子級高純度樹脂,樹脂中各種金屬雜質(zhì)控制達(dá)到了ppb級,適合多種光刻膠產(chǎn)品的生產(chǎn)。其特點(diǎn)是分子結(jié)構(gòu)具有較強(qiáng)的反應(yīng)活性,能夠在光刻膠顯影過程中不溶脹、抗等離子蝕刻性強(qiáng)、耐高溫、分辨率好、堿溶解速率快并具備與重氮萘醌感光劑的反應(yīng)能力。

二、技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品型號 游離單體% 分子量Mw 間對比M/P/3,5XY 軟化點(diǎn)℃ 單金屬離子/ppb
TH-PF-01 <1.0 13000-20000 60/40/0 140-170 <50
TH-PF-02 <1.0 8000-13000 60/40/0 140-170 <50
TH-PF-03 <1.0 4000-8000 60/40/0 140-170 <50
TH-PF-04 <1.0 2000-4000 50/50/0 120-150 <50
TH-PF-05 <1.0 3000-5000 50/50/0 130-160 <50
TH-PF-06 <1.0 8000-13000 50/50/0 150-180 <50
TH-PF-07 <1.0 3000-7000 40/60/0 120-150 <50
TH-PF-08 <1.0 3000-5000 67/28/5 140-170 <50
TH-PF-09 <1.0 8000-13000 67/28/5 150-180 <50

公司可根據(jù)客戶要求定制不同分子量的光刻膠用酚醛樹脂

三、包裝與貯存

包裝:采用電子級鋁塑包裝袋,每袋重量為1kg、2kg、5kg、10kg或20kg。可根據(jù)客戶需求定制。 貯存:樹脂必須儲(chǔ)存在陰涼通風(fēng)干燥處(25℃以下),避免陽光直射,遠(yuǎn)離熱源,貯存期12個(gè)月。

四、安全與防護(hù)

應(yīng)戴防護(hù)手套、面罩、眼鏡等防護(hù)用品,避免人體直接接觸酚醛樹脂,接觸后立即用大量清水沖洗。

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